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氣冷控溫系統
ATC6.1
Active Thermal Control System
- 溫控能力範圍 -55 °C to +130 °C
- 適用於Multi-Site機台
- TC/TJ 控制解決方案(Optional)
- 製冷能力 50W.
支援多項選配功能
- 主動控溫系統
- 全自動化解決方案
- 殘料檢知解決方案
- 視覺偵測系統
- ESD靜電防護設計
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Active Thermal Control System
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